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KOFLOC 9100系列 KOFLOC 9100系列自动压力控制器

产品信息

 

一个自动的压力控制器(APC)与一个压力传感器结合用于压力的控制。

1900系列具有KOFLOC电磁阀的特征,它的操作性深受客户好评。

通过改变传感器的设定点,阀门很容易对进口和出口压力进行控制,当使用单个控制装置或和其它质量流量控制器使用时,能够提供较高的过程操作。

 

特点

对于每种流量范围,改进的控制和响应操作

两种响应速度开关·

常闭的电磁阀

隔膜底座阀减少了泄露

间距和主体的尺寸设计为了产品能和其它生厂商的控制器兼容

 

标准规格

测量系统

真空蒸发型半导体应变仪

阀门类型

隔膜阀(常闭电磁阀)

控制范围

开关压力类型:10-500 kPa

压力类型:10-100 kPa

响应时间1

0-响应 ≤1

响应时间2

0-响应 ≤6

压力调节阀流量

0.5 slm/1 slm/2 slm

压力条件:主压50kPa,次压放入大气中,N2标准

压力控制精度

±1.0%F.S以内

精度保证温度范围

15-35

线性

±0.5%F.S以内

重复性

±0.5%F.S以内

工作温度范围

0-50

防护压力

表压类型:1MPA

绝压类型:450kPa

连接气体部件材料

SUS316,Co-Ni,PTFE,Au(metal) Viton

接头

标准:1/4VCR;可选:1/4SWL

外部泄漏率

6 x 10-11 Pa·m3/s(金属  1 x 10-8 Pa·m3/s(橡胶)(排除He

压力输入信号

0.1-5VDC

压力输出信号

0-5VDC

电源供应

+15VDC(±5%)100mA, -15VDC(±5%)200mA

安装位置

任何位置

 

 

 

 

 

连接图

KFC标准Dsub9针连接

针眼数量

信号

针眼数量

信号

1

输入阀门开/关操作

6

 流量输入 Hi

2

流量输出0-5V

7

流量输出COM

3

+ 15 VDC电源

8

流量输入 Lw

4

电源COM

9

输出阀门电压

5

-15 VDC电源

 

 

 

订货方法

订购范例

9100M

F

1/4VCR

N2

A

0.5SLM

9100M-F-1/4VCR-N2-A-0.5SLM

型号

9100M

 

9100R:橡胶封条

 

9100M:金属封条

类型

 

F

 

F:进口压力控制

 

B:出口压力控制

连接方式

 

1/4VCR

 

标准:1/4VCR

 

选项:1/4SWL1/8SWL

介质

 

N2

 

N2

压力

 

A

 

A0-98.1KPA(A)

 

1:0-98KPA

 

2:0-343KPA

 

3:0-498KPA

流量

 

0.5SLM

0.5SLM

1.0SLM

2.0SLM

 

 

 

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