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SFS-H 西格玛精密（压电陶瓷）平台—高速·高刚性型 西格玛精密平台—高速

产品信息

SFS-H 西格玛精密（压电陶瓷）平台—高速·高刚性型

详细说明

SFS-H 西格玛精密（压电陶瓷）平台—高速·高刚性型

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    • SFS-H 系列是在原来的SFS 系列的基础上，提高了承载能力和响应速度而开发的压电陶瓷平台。
    • 它采用压电陶瓷作为驱动件，可以实现开环控制时的行程为90μm-100μm，理论分辨率为1nm 的微小移动。采用了位移传感器（频率-位移转换方式的小位移传感器），在闭环控制时，实现了10nm 的显示分辨率。
    • 和FINE 系列控制器一起使用，可以实现优于0.5%的直线性和高速化。SFS-H60X、40X 可以实现往复运动的频率为10-15Hz（全行，闭环控制时）。
    • 这是一款Z适用于需要高速，高精度定位的装置或实验用途的平台。
      注意
    • 此平台的技术参数是指环境温度为20 ± 1 ℃时的值。请在使用之前仔细阅读操作说明书和安装手册等资料。
    • 技术指标是指单个平台时的测量值，而不是和其他零部件组合后的测量值。
    • 技术指标是指在额定载荷，并且是在平台ZX承载时的值，而不是指偏载时的值。
    • 精度值是平台正常水平安装使用时的值，如果您需要倒置或垂直使用，请事先向我们确认。
    • 精度值是指平台台面附近的值。
    • 行程是指开环控制时的值。
    • 直线性精度依据的是西格玛光机的测量法。
    • 重复定位精度是闭环控制，采样时间为350µs 时的值。
    • 分辩率是使用FINE-01 或503 时的值。

行程（细调）
[μm]		 自重
[kg]		 理论分辨率（开环）
[nm]		 分辨率（闭环）
[nm]		 直线性误差
[％]		 直线度（水平方向）
[μm]		 重复重复定位精度
[μm]		 承载能力
[N]		 型号 CAD 数量
90±15% 0.28 1 10 0.3≥ 1 0.1≥ 10 （1kgf） SFS-H40X（CL）  
100±15% 0.28 1 10 0.3≥ 1 0.1≥ 7 （0.7kgf） SFS-H40Z（CL）NEW  
100±15% 0.4 1 10 0.3≥ 1 0.1≥ 20 （2kgf） SFS-H60X（CL）  
100±15% 0.43 1 10 0.5≥ 1 0.1≥ 15 （1.5kgf） SFS-H60XY（CL）  
100±15% 0.33 1 10 0.3≥ 1 0.1≥ 10 （1kgf） SFS-H60Z（CL）NEW  
100±15

  　
　 　 　
　

【光电测量产品】

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