KOSAKA LAB ET 200
微细形状测定机（****接触式台阶仪）
株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立的公司，也是日本*家發表光學幹槓桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為Z具代表性單位且在日本精密測定業佔有一席無法被取代的地位。
设备特点：
KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）****接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET 200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET 200配备了各种型号****，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到****工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。
规格
一、測定工件：
1. Z大工件尺寸：φ160mm
2. Z大工件厚度：50mm
3. Z大工件重量：2kg
二、檢出器（pick up）：
1. Z方向測定範圍：Max. 600μm
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 測定力：min.1mgf,max.50mg
4. 觸針半徑：2 μm
5. 驅動方式：直動式
6. 再現性：1σ= 1nm
三、X 軸 （基準軸）：
1. 移动量（Z大測長）：100mm
2. 移動的真直度：0.2μm/100mm
3. 移動,測定速度：0.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺（linar scale）：分解能 0.1μm
四、Z軸：
1. 移动量：50mm
2. 移動速度：max.2mm/S
3. 檢出器自動停止機能
4. 位置決定分解能：0.2μm
五、工件台：
1. 工件台尺寸：φ160mm
2. 機械手動倾斜： ± 1mm/150mm
六、工件觀察：max.110 倍（可選購其它高倍率CCD）
七、床台：材質為花崗岩石
八、防振台（選購）：落地型或桌上型
九、電源：AC100V±10%,
50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量：
W494×D458×H610mm, 120kg
（不含防震台）
