VerteX 全自动PL荧光光谱仪

产品信息

可快速量测，减低量测成本，并提供良率所需之参数
可cassette对cassette量测，可至3个cassette station，亦可手动量测
可快速量测晶圆图谱包括峰值强度、波长、半高宽及积分强度
可依不同材料应用做全光谱量测，且透过软件既可变换Laser, CCD, grating

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