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专业代理椭偏仪测太阳能电池——上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉...

产品信息

 

  规格(SPECIFICATION):
       - 波长范围:350~850 nm
       - 入射角:30°~90° (解析度:± 0.01°
       - 待测样品尺寸:up to 200mm
       - 精度:1200A SiO2 标准片
         - 厚度Tks: ± 2.5 A
         - 折射率 (N)± 0.01@ 632.8 nm
       - 重复性:1200A SiO2 标准片 ( 5 times)
          - 厚度 : ± 2.5 A
          - 折射率 : ± 0.005 @ 632.8 nm.

  应用(APPLICATION):
       - 太阳能电池: 减反膜工艺
       - TFT-LCD: SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si,Photo Resists...
       - SEMI:
       - High-k:Al2O3,SiO2,Si3N4,SiNX,HfO2,Ta2O5,ZrO2
       - Low-k: SiOC,SiOF,SOG,BPSG …

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