| 型号 | VMP322全自动三次元测量仪 | VMP432全自动三次元测量仪 | VMP542全自动三次元测量仪 | |
| 量程（mm） | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | |
| 外部尺寸（mm） | 650×750×1100 | 750×900×1100 | 850×1050×1100 | |
| 重量（kg） | 140 | 180 | 220 | |
| 承重（kg） | 25 | 25 | 25 | |
| 精度 | XY轴 | E2=（3.0+L/200）µm | ||
| Z轴 | E1=（5.0+L/200）µm | |||
| 重复精度 | XY轴 | <3µm | ||
| Z轴 | <5µm | |||
| 速度 | XY轴 | 200mm/S | ||
| Z轴 | 100mm/S | |||
| 光栅尺分辨率 | 1.0µm, 0.5µm（可选） | |||
| CCD | SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 | |||
| 光源 | 轮廓光 | LED冷光源，256级亮度可调 | ||
| 表面光 | 1环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调 | |||
| 同轴光 | LED冷光源，256级亮度可调 | |||
| 光学系统 | 6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326 | |||
| 软件 | Vispec测量软件（经济版） | |||
| 运动控制 | 自主的CNC直流伺服系统 | |||
| 保修期 | 1年 | |||
| 工作环境 | 温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80% | |||
| 振动<0.002g，低于15Hz | ||||
| 电源 | 90～264VAC，47-63Hz,10Amp | |||
