Keithley 4200－SCS 半导体特性分析系统

*可以支持9个精密直流源－测量单元能够提供和测量0.1fA到1A的电流或者1uV－210V的电压；

*利用4210－CVU（C-V）模块要吧方便的在1KHz-10MHz测试频率下进行交流阻抗测试。可以测量的电容范围从aF级到uF级；

*利用可选的4225－PMU超快I-V模块可以进行脉冲和舜态测量。