TRC-6341 电子薄膜应力分布测试仪

电子薄膜应力分布测试仪 型号：TRC-6341
该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率
半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出全场面型分布结果, 适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。
仪器基于干涉计量的全场测试原理, 可实时观测面型的分布, 迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置, 及时淘汰早期失效产品。

创的错位相移技术

计算机自动条纹处理

测试过程全自动

先进的曲面补偿测试原理

Z大样品尺寸	≤100mm (4英寸)
曲率范围	|R|≥5米
测试精度	5%
单片测量时间	3分钟/片
结果类型	面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格
图形显示功能	三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示
电源	AC 220V±10%, 50Hz±5%
Z大功耗	100W
外型尺寸(L×W×H)	285mm×680mm×450mm
重量	36kg