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英福康BPG402-S Bayard-Alpert 英福康皮拉尼复合真空计

产品信息
BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计  的详细介绍
INFICON BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计贝阿德-阿尔珀特皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将两种真空计的功能融合到一个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)。 多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。 为经济实惠且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S,以经济GX的方式执行基本压力测量。 传感元件带有板载校准数据,可在更换传感器时确保高再现性。
BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计益处测量范围非常广,从 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)
10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
皮拉尼联锁保护单丝,防止过早烧毁
两根使用寿命长的氧化钇铱丝
备有可选的图形显示屏和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性
RoHS 合规 BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计典型应用对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计选型:
零件号





BPG402-S
零件号说明
353-570 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-571 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-572 BPG402-S 真空计
353-573 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576 BPG402-SD 型真空计
353-577 BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-578 BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
附件





BPG402-S
零件号说明
353-511 BPG400 24V电源
353-512 Baffle for BPG400
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF
备件





BPG402-S
零件号说明
354-494 BPG402 感应器
354-495 BPG402 Spare measurement system DN40CF-R
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