Nanofilm_EP3_SE 光谱型成像椭圆偏振仪
- 产地：上海
- 供应商：阿库瑞恩(上海)有限公司
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产品信息
传统的椭圆偏振仪作为一个强大的薄膜表征技术已经有超过100年的历史。而应用成像椭圆偏振仪可以将被研究对象的尺寸下调到微米范围，此技术可以应用于微结构样品测试。例如，当今信息存储设备(如各种硬盘)的读写头-悬臂梁探针微传感器表面的反应涂层就可以用成像椭圆偏振仪进行表征。而由于传统的椭圆偏振仪光斑直径很大不能用以该类测试。同时，基于椭偏测试数据成像椭圆偏振技术可以绘制空间分辨率达到一个微米左右的三维图像，而且在这个过程中可以同时保留传统椭圆偏振技术亚纳米膜厚分辨率的优点。波长范围为360-1000纳米的光谱型成像椭圆偏振仪基于成像水平可以用来分析厚度更大的多层薄膜。总之，更多的独立测量数据能够拟合出更多的未知参数—现实中，可以获取更多样品信息。 产品特点
