COXEM库赛姆EM-30 Plus台式扫描电子显微镜
COXEM库赛姆EM-30 Plus台式扫描电子显微镜超高分辨率台式（桌面式）扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用
BSD探测器成像的局限性，利用创新的双聚光镜成像技术，采用大型扫描电镜成像方式，使用二次电子探测器作
为基础成像单元，从而，可以获得更高的分辨率（<5nm），是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。EM-30
Plus台式电镜配置SE+BSE探测器，可实现对样品的元素衬度、形貌衬度进行分析，同时，也可选配EDS探测器（
能谱仪），快速实现扫描电镜对材料微区化学成分进行定性及定量分析。
COXEM（库赛姆）EM-30 Plus产品技术亮点：
超高分辨率（5.0nm @30kV SE）；
更大的放大倍数x 150,000；
更加简单易用的导航模式，更加快速的操作模式；
同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集；
更加先进的低真空模式；
全新升级的分析软件，舒适通用；
COXEM库赛姆EM-30 Plus台式扫描电子显微镜从1kV-30kV同标准电镜相同的全加速电压量程；
技术指标：
放大倍数
x20 ~ x150,000
加速电压
1~30kV
电子枪
钨灯丝
探测器
标配二次电子像（升级）、背散射电子像（可伸缩），可选配能谱仪
样品台:
X: 35mm (马达驱动)， Y: 35mm (马达驱动)，
T: 0- 45°(马达驱动)， R: 360°，Z: 5-50mm
样品座
通用7个样品桩的样品台
通用25mm的样品台
通用倾斜
通用截面台
试样尺寸
45mm（高）,60mm （直径）
图像模式
(像素)
Focus聚焦（160 x120 pixel）
RED选区（320x240），
TV（640x480）
Slow（800x600）
Photo（1280x960，2560x1920，5120.x3840）
真空系统
涡轮分子泵（小于3分钟）
软件
全新的NanoStation 3.0TM
自动功能
聚焦、灯丝、亮度、对比度
特殊功能
导航模式
驾驶模式（通过控制杆操作）
SE+BSE混合像，分屏同时显示SE,BSE像
组成、形貌
线轮廓
操作系统
Windows 7
操作方式
控制杆，鼠标，键盘
外形尺寸
400×600×500,90kgCOXEM库赛姆EM-30 Plus台式扫描电子显微镜
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