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CIF透射电镜样品杆清洗机

产品信息
CIF透射电镜样品杆清洗
CIF透射电镜(TEM)样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计,自动切换,一机多用,清洗快速GX。远程等离子体清洗快速GX低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。
产品特点
  • 双等离子清洗源
  • 一机多用
  • 快速GX低损伤
 
技术参数
产品型号 CIF-TEM
真空泵 Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵
入口压力1.0个大气压(0psig),出口压力1.4个大气压(6.5psig)
抽速60L/min,极限真空3.3 x 10-1 mbar
KF16入口接口
等离子电源 13.56MHz等离子射频电源,射频功率5-100W可调
两种等离子体清洗源,原位等离子源和远程等离子源,自动匹配器
清洗室 清洗室尺寸(长X宽X高)150X150X150mm
清洗数量 可同时清洗3支TEM样品杆
适配品Pai THERMO FISHER(FEI)、日立HITACHI、捷欧路JEOL
气体控制 标配双路50毫升/分气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响
气源选择 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择
真空控制 美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计, 测量范围1E-5Torr
真空保证 真空计和电磁阀安全互锁
操控方式 7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面
电源 220V,50/60Hz,300W
质量保证 二年质保,终身维护
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