EMS150RES Plus镀膜仪
- 品牌：美国 EMS
- 型号：150R ES
- 产地：进口
- 供应商：广州竞赢科学仪器有限公司
- 供应商报价：请致电：15360060733
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产品库
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仪器尺寸
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585mm W x 470mm D x 410mm H (打开镀膜头时总高 650mm)
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重量
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28.4kg
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包装尺寸
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725mm W x 660mm D x 680mm H (36.8kg)
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工作腔
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硼硅酸盐玻璃，152mm Ø (内) x 127mm H
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安全钟罩
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PET材质
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显示
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145mm 320 x 240 彩色图形TFT (Thin Film Transistor)显示
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用户界面
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直观全图形界面，触摸屏控制
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溅射头
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标配 57mm Ø、0.1mm厚金靶（Q150R S，Q150R ES）
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样品台
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50mm Ø旋转样品台，带6个15mm、10mm、6.5mm或1/8”钉形样品座孔，旋转速度8-20 rpm
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机械泵
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Edwards RV3 50L/s双程机械泵
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真空测量
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标配Pirani规
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极限真空
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2 x 10-2mbar
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工作真空
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3 x 10-2 mbar与5 x 10-1mbar之间
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溅射
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0-80mA，溅射时间60 min
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碳蒸镀
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电流脉冲：碳绳，1-60 A；1.4mm Ø碳棒，1-90 A
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辉光放电
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0-80mA，DC+及DC-模式
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工作气体
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Ar气，99.999%，N2为排放气体（选件）
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电源
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90-250V ~ 50/60 Hz 1400 VA
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认证
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CE
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