EMS 150T.ES Plus系列为紧凑的分子涡轮泵镀膜系统，适合SEM、TEM及许多薄膜应用。
EMS 150T ES Plus集成了溅射和碳蒸镀两种沉积镀膜功能的高分辨镀膜系统
新款改进
● 触摸屏更换成便于操作的电容触摸屏
● 固件更新，新版操作界面类似安卓系统，便于客户上手
● 新的彩色LED可视状态指示灯
● 双核ARM处理器，可快速响应
● USB接口可以用于固件更新，并可将镀膜方案文件备份/复制到USB存储设备
● 可以通过USB端口以.csv格式导出过程日志文件，以便统计分析
主要特点:
● 金属溅射或碳蒸发一体化设计，节省空间
● 适合FE-SEM制样的精细镀膜和薄膜应用
● 涡轮分子泵高真空系统，适合不氧化贵金属和易氧化其它金属靶材
● 全自动触摸屏控制，快速数据输入，操作简单
● 可储存多个客户自定义镀膜方案：对多用户实验室十分理想
● 预编程自动真空控制
● 使用膜厚监控选件精确控制膜厚
● 智能系统识别，自动感知用户所插入镀膜头的类型
● 高真空碳蒸镀，对SEM和TEM镀碳膜应用非常理想
● 先进的碳棒蒸镀枪设计和电流控制技术，操作简单，重现性好
● Drop-in式快速换样品台（标配旋转台）
● 真空闭锁功能，让工作腔室在待机使用时亦处于真空状态
● 不破坏真空条件下的溅射时间可长达60分钟，适合材料科研应用
● 人体工程学设计，整体成型机壳，维护、拆装容易
● 带有本地FTP服务器连接的以太网端口，程序更新简单
● 设有功率因素补偿，有效利用电能，降低运行成本
● CE认证
技术参数:
● 工作腔室：150mm内径 x 127mm高
● 触摸屏全图像用户界面
● 靶材：标配直径57mm x 厚0.3mm Cr靶
● 样品台：标配旋转台，直径60mm，转速8-20 rpm
● 真空系统：
涡轮分子泵：带有空气冷却的涡轮分子泵
旋转机械泵：双程旋转机械泵
● 极限真空度：5 x 10-5mbar
● 溅射真空度： 5 x 10-3 到 5 x 10-1mbar之间
● 溅射电流：0-150mA；可预设膜厚或使用内置定时器
● 溅射时间：Z长60分钟
● 碳蒸发：稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发，确保源自碳棒或碳丝的可重复蒸碳。
● 金属蒸发/光阑清洁头：用于钨丝篮或金属热蒸发。
● 尺寸和重量：仪器机箱585mm宽x 470mm长 x 410mm高 (总高: 650mm)
