美国AJA ATC-T 系列热蒸发镀膜系统

AJA国际公司的ATC-T 热蒸发系统有圆柱形（超高真空型）和箱式（高真空型）装置。这些系统性价比高且都采用的是高品质零件。它们沿用了许多ATC&ATC ORION 溅射系统的特点和通用部件，并且还能装置AJA独有的300Amp水冷热蒸发源，克努森蒸发池，有机材料低温蒸发池，和Luxel Radak 蒸发源。此外，这些系统都能配置AJA磁控溅射源，预真空室，QCM石英晶体微天平，加热或冷却基片支架，行星齿轮，各种泵组和自动控制系统。

AJA致力于研发生产薄膜沉积系统，包括磁控溅射系统，电子束蒸发系统，热蒸发系统和离子束刻蚀系统。1989年William Hale在美国马萨诸塞州创立了AJA这个品Pai，开始是以物理气相沉积产品供应商问世。随着越来越多的系统和磁控溅射源畅销世界，AJA国际公司不断突破自己，发现更多创新设计解决方案。其中一些方案一直被模仿，但从未被超越。AJA始终保持着薄膜技术领域的前沿地位。

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