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SpecEI椭圆偏振光谱仪系统

产品信息

SpecEl 椭偏仪

SpecEl-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光,进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率,吸光率及膜厚的测量。
集成的精确测量系统

SpecEl由一个集成的光源,一个光谱仪及两个成70°的偏光器构成,并配有一个32位操作系统的PC.该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜,并且折射率测量可达0.005%。

SpecEl软件及Recipe配置文件

通过SpecEI软件,你可以配置及存贮实验设计方法实现一键分析,所有的配置会被存入recipe文件中。创建recipe后,你可以选择不同的recipe来执行你的实验。

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