6KW微波等离子电源 微波等离子电源
- 品牌：care
- 型号：cms-006
- 产地：国产
- 供应商：烟台凯尔微波系统有限公司
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等离子体化学气相沉积6KW微波等离子电源 微波等离子电源
微波等离子体CVD（Microwave PCVD, MPCVD）将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应器，并通入CH4与H2的混合气体，在微波的激励下，在反应室内产生辉光放电，使反应气体的分子离化，产生等离子体，在衬底上沉积得到金刚石膜。
PECVD：是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).可以沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等.
