硅片检测显微镜

上海沪杏光学的仪器介绍：CGM-600E明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，及其高像素的数码摄像头，是检测太阳能电池硅片的“金字塔”的微观形貌分布情况及硅片的缺陷分析的理想仪器。

 上海沪杏光学仪器有限公司原系沪星仪表厂shhhx17.com，前身主要为国家高科研、定向生产JD仪器仪表，建厂历史悠久，产品质量过硬，科研水平领先，长期保持光荣的传统和优良的作风。改制后的我们，秉承原有的开创精神，经过几代人的ZY奋斗，已发展成为集研制和生产光学计量测试仪器以及先进GX的光学冷加工设备的综合性企业的联系方式：021-20227929。

硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等，还可以对硅片的杂质、残留物成分分析，杂质包括颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象。

        本仪器是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.

CGM-600E明暗场硅片检测显微镜技术参数

1.目镜

类 别 放大倍数 视场(mm) 大视野目镜 10X φ18

2.物镜

类 型 放大倍数 数值孔径NA 工作距离（mm） 

长工作距离平场消色差物镜 5X(明场) 0.12 18.3

10X(明暗场) 0.25 8.9 20X(明暗场) 0.40 8.7

40X(明暗场) 0.60 3.7 80X(明场) 0.80 0.96

3.光学放大倍数：50X -- 800X     系统参考放大倍数：50X-5000X

4.滤色片组：黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃

5.偏光装置：可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片

6.载物台：二层机械移动式(配有快速移动装置)

      尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm

7.粗微同轴调焦机构，微动手轮格值：0.002mm

8.落射照明器：6V/20W卤素灯，亮度可调

9.防霉：特有的防霉系统

10.成像系统:高像素的数字摄像头

CGM-600E明暗场硅片检测显微镜系统组成

大平台硅片检测显微镜(CGM-600E)：

1.显微镜 2.适配镜 3.高像素摄像头4.计算机(选配)

CGM-600E明暗场硅片检测显微镜总放大参考倍数

 电脑型硅片检测显微镜(CGM-600E)：50--4000倍（17寸显示器为例）

1.二维测量软件  2.目镜： 20X 10X(带刻度)

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