表面微粒子计数器

适用范围与应用：
●适合客户群: 半导体黄光,蚀刻制程,零件清洗商,设备清洁维护,光电厂,玻璃基板厂,
硬盘厂,太阳能基板等任何有表面Particle Issue产业
●Capture Filter能收集Particles.由EDX或FTIR分析Particle成分

产品质能参数
 测量范围：0.3, 0.5, 1.0, 5.0 和10μm , 符合JIS标准
 每一尺寸单独计数
 所有尺寸微粒数同时显示
 可定制微粒尺寸
 取样时间：3秒/6秒
 光源：长效型激光二极管
 可携带配置；NiMH电池操作
 输入电源：100-240 VAC，单相
 重量：18 lbs (8.2 Kg)
 尺寸：9.4＂ W x 17＂ D x 12＂ H
 
特点说明
 内存：2000样本记录，可循环缓冲寄存器(包括粒子、环境数据、位置、时间等)
 显示：6.5＂ FPD 彩色触摸屏
 数据：可选微粒子厚度单位：每平方厘米或每平方英寸
 报警：可编程控制
 自动调整流量：
 1.0 cfm (立方英尺/每分钟) 用于 2＂ 和 3＂ 的采样探头
 0.6 cfm 用于1/2＂ 采样探头
 通讯：RJ-45