ZoneSEM / ZoneTEM 电镜样品清除污染和干燥处理仪器

某些样品在电镜下观察容易发生污染现象，电子束扫描过后的区域迅速变黑，影响了形貌观察和成分分析。污染现象的形成原因通常是由于样品表面吸附了烃类有机气体，气体分子在电子束的照射之下沉积或化合在样品表面形成污染层。
ZoneSEM是为扫描电镜样品处理设计，可以直接装载日立扫描电镜的样品台，ZD清洗区域直径达70mm；ZoneTEM是为处理透射电镜载网样品设计，能够同时装载3根日立TEM、STEM、FIB或In-Lens SEM的样品杆。ZoneSEM和ZoneTEM可以快速清除引起样品污染的烃类气体并且不损伤样品，真空系统采用无油的隔膜泵以保持样品仓的清洁真空状态，也可以用于存储清洗过的干燥电镜样品。样品仓载物台同样可以改造成适用其他电镜厂家的样品台和样品杆。

技术参数：
清除系统：芯片控制系统
工作模式：真空清除污染 / 真空存储
时间设定：0到30分钟，1分钟每步
真空系统：干泵无油真空系统
真空级别：120秒内达到ZG真空
主机尺寸：360mm×390mm×378mm
仪器重量：17kg
室温要求：15℃~30℃
供电电压：单相交流电100V至240V
电流频率：50/60Hz(±3 Hz)

样品：金颗粒标准样品 放大倍率：30万倍 处理时间：5分钟