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EBIC 英国DEBEN EBIC放大器及成像系统

产品信息
执行EBIC成像所需的设备是扫描电子显微镜、EBIC放大器和电真空馈通。 从电子束注入的电子打破半导体均衡状态，产生电子/空穴对，EBIC信号主要是从嵌入的扩散层（晶体管和二极管）产生，通过放大电子束产生的感生电流或电压，便可由该效应形成SEM监视图像。
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