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英国QUORUM低温灰化仪 英国低温灰化仪Q1050 Plasma Asher

产品信息
  • 1050灰化仪，英国QUORUM低温灰化仪，英国低温灰化仪Q1050，煤灰化，EMS低温灰化仪
    EMS1050 低温灰化仪
    应用领域：
    l  生物芯片领域
    l  医用材料、光学材料研究
    l  电子半导体领域
    l  高分子材料研究
    l  电化学、高端零部件处理
    l  有机材料的灰化、刻蚀
     
    仪器性能：
    l  自动调频高频发生器
    l  内置旋转真空泵
    l  此系统通常使用氧及氩的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），氩对样品表面进行刻蚀
    l  低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)
    l  真空监测.
    l  双重气流针阀控制
    l  精确时间定时
    l  微处理器程序设置
    l  LCD状态数字显示
    l  腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，样本操作方便
    l  聚碳酸脂安全防护  
     
    技术参数：
    电镜有机样本的刻蚀尺寸 450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)
    工作腔室 派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.)
    (硼硅酸盐玻璃为标准配置)
    重量 25Kg
    等离子体输出 ZD150w，13.56 MHz 。
    等离子体输出 ZD150w，13.56 MHz 。
    真空度 >ATM to 1 x 10-5mbar；通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.
    时间控制 最长可设置99小时59分钟
    双重气流控制 双重针阀气流控制，可选1种或2种气体（校准   5-100cm3/min air at A.T.P)
    电源 230 V， 50Hz (3 amp Max)


    • 信息声明：本产品供应信息由仪器网为您整合，供应商为（湖南远湘生物科技有限公司），内容包括 （英国QUORUM低温灰化仪 英国低温灰化仪Q1050 Plasma Asher）的品牌、型号、技术参数、详细介绍等；如果您想了解更多关于 （英国QUORUM低温灰化仪 英国低温灰化仪Q1050 Plasma Asher）的信息，请直接联系供应商，给供应商留言！
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