SU6600 日立SU6600配有VP功能的热场扫描电镜

产品介绍：

SU6600配有VP功能的热场扫描电镜

日立公司为分析应用推出的热场扫描电镜，可以提供200nA的探针电流，并且配置了VP功能，可以满足不导电样品的无蒸镀观测。

特点:
1.Z大200nA的探针电流，可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用
2.配有VP功能，可自动实现压差光阑的安装和取出
3.配有二次电子探头和背散射探头，可选配ESED
4.大型分析型样品室，可方便的安装多种分析附件
5.可装载150mm直径、40mm高样品
6.电脑控制的5轴优ZX马达样品台

性能指标：
二次电子分辨率：1.2 nm（30KV，高真空模式）
3.0nm(1KV，高真空模式)
4.5nm (30KV,VP模式，150Pa)
背散射电子分辨率：3.5nm (30KV,VP模式，10Pa)
加速电压范围：0.5 to 30 kV
探针电流：200nA