MX61L 日本OLYMPUS奥林巴斯高倍显微镜硅片12" MX61L 无锡世迈科技

是否提供加工定制
否
类型
光学显微镜品Pai
OLYMPUS奥林巴斯高倍显微镜硅片12寸 MX61L
型号
MX61L仪器放大倍数
看配置
目镜放大倍数
看配置物镜放大倍数
看配置
重量
60K（g）适用范围
测量

能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）
应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本。
半导体／FPD检查显微镜MX61L 观察影像实例

UIS2物镜生成鲜明的观察影像
UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容，可按照用途选用。另外，波像差控制带来的高品质，忠实于样本的中性色彩显示等，UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的性能。
观察影像
明视场观察 暗视场观察 微分干涉观察 荧光观察
MPLAPON系列产品
Z大程度校正了色差的平面复消色差物镜。是世界上首例以95%以上的弥散比例保证了光学性能（波像差）的通用型号物镜。对应微分干涉观察、简易偏振光观察和AF单元（奥林巴斯U-AFA2MA产品）。
MPLFLN/MPLFLN-BD系列产品
有着高水准的色差校正的半复消色差透镜设计的通用物镜。不仅在明视场观察中，在荧光、微分干涉和简易偏振光观察中都能发挥性能。明暗视场观察请使用BD系列产品。
MPLFLN-BDP系列产品
特别在偏振光、微分干涉观察中能发挥性能的通用物镜。
LMPLFLN/LMPLFLN-BD系列产品
有着高水准色差校正的长工作距离平面半复消色差物镜。由于工作距离较长，能有效防止与有落差的样本的碰撞。统一了从5×到100×的瞳孔位置，切换物镜时不再需要切换DIC三棱镜。明暗视场观察请使用BD系列产品。
MPLN/MPLN-BD系列产品
实现了视场数达22的良好平整度的平场消色差物镜。明暗视场观察请使用BD系列产品。
SLMPLN系列产品
长工作距离降低了样本的损伤风险。在无色彩渗出的高对比度观察影像上，甚至可以观察到细微的线的宽度。
LCPLFLN-LCD系列产品
这款物镜适用于透过LCD面板等玻璃板来观察样本。校正环的采用实现了与玻璃厚度相符的像差校正。
半导体／FPD检查显微镜 MX61L 规格
光学系统UIS2光学系统（无限远校正）
机身观察方法明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
反射/透射反射/透射
照明装置机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）
照明系统反射照明100 W卤素/100 W水银/75 W氙
透射照明纤维光导
对焦单元电动/手动手动
行程32 mm
分辨率/微调灵敏度微调旋钮转动1周移动0.1 mm
Z大样本高度30 mm
物镜转换器电动型明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉ZX输出5孔
手动式-
载物台行程14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范围356×284 mm）
观察筒广角视场（视场数22）倒置双目/三目观察筒
正像三目观察筒
超宽视场（视场数26.5）倒置三目观察筒
正像倾斜三目观察筒
附件单元DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸710（W）×843（D）×507（H）mm（标准组合）
重量51 kg（标准组合）