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AL120-12 日本OLYMPUS显微镜AL120-12 无锡世迈科技

产品信息
是否提供加工定制类型光学显微镜
品Pai奥林巴斯OLYMPUS型号AL120-12
仪器放大倍数选配目镜放大倍数选配
物镜放大倍数选配重量650000(g)
适用范围对应可使用FOUP(装载口)和FOSB,适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。装箱数2
规格AL120-12  

AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP(装载口)和FOSB,适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。
人机工程学设计,操作方便可以自由设置的检查模式,在设计上考虑了后道工程中的操作性,尤为重视设备的操作简便性。分别对应FOUP(Load Port)和FOSB的两种机型。坚固、可靠和安全传送延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性,能够安全可靠的传送300 mm晶圆。薄片,Warped晶圆皆能安全搬送。宏观观察位置的优化和操作单元的集中排列,提高了设备的操作舒适性。专用宏观照明装置

专用宏观照明装置
为异物、伤痕、膜斑、散焦的发现提供了理想的照明方式
高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合,实现了300 mm晶圆的冷光源全面照射。
技术规格

自动300 mm晶圆搬送机AL120-12规格


 

AL120-LMB12-LP



AL120-LMB12-F



晶圆尺寸



300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可选:200 mm



卡盒



●FOUP(Front Opening Unified Pods)前开门标准夹

●SEMI:E47.1-0200规格产品

●FIMS-FOSB, FOSB



●FOSB(Front Opening Shipping Box)前开门搬运盒

●SEMI:M31-0999规格产品



卡盒数



单盒(装载、卸载兼用)



卡盒设置高度



900 mm



装载端口







搬运顺序



表面宏、内面宏、显微镜检查



检查模式



全部检查、抽样检查



晶圆校准



非接触式ZX环



晶圆搬运方式



真空吸附机械搬运



适用显微镜



半导体检查显微镜MX61L



应用环境



AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz

真空-67~-80 Kpa



载物台



XY手动吸附载物台,有XY粗调/微调和360度旋转机构



重量(不包括显微镜)



约360 kg



约270 kg


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