Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵
上海伯东代理美国 Brooks 旗下 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷冻机，利用低温冷媒(-100度)通过盘管，将水蒸气吸附在冷盘上，快速吸附占真空腔内残留气体 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 4000 H 冷冻机抽水气效率高达 220,000 l/s，在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，目前 Polycold 冷冻机主要应用于半导体和真空镀膜行业，客户通过使用 Polycold 水汽深冷泵，产能可增加 20% 到 。MaxCool 4000 H 深冷泵提供单管路和双管路配置满足您的不同应用，可搭配伯东德国 Pfeiffer 分子泵，罗茨泵，干泵和美国 KRI 考夫曼离子源共同使用。冷冻机 Polycold MaxCool 4000 H 是旧款型号PFC-1102 HC全新升级款！~Polycold 冷冻机应用：
Polycold 冷冻机利用新型环保型冷媒，可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比，冷媒可循环使用，大大降低了企业成本。Polycold 冷冻机主要应用于真空镀膜(溅镀、蒸镀)、半导体(晶圆加工)行业。Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵优点：
低温范围：-98 至 -133C
真空抽气时间缩短 75%
GX的抽水汽效率：327,800 到 220,000 l/s
产品产量提高 20% 到
在工艺过程中降低水蒸汽的分压力，从而获得更高质量、更好的附着力、和多重沉积膜特性
相对于液氮制冷 LN2，Polycold 冷冻机选用、环保型冷媒，可循环使用
低功率，低能耗，Z大负载 4000 WPolycold MaxCool 冷冻机组成：A：Polycold 冷冻机主机（铜环和轮子可以选配，方便运输）
B：外部冷凝管(外部连接管)
C：Feedthrough
D：真空腔
E：冷盘(低温盘管)Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技术参数：
标准性能 |
Z大负载：Watts | 4000 |
抽水汽效率(理论值)：l/s | 327,800 |
保守抽速：l/s | 220,000 |
极限真空：mbar | 7 x 10-8 |
启动压力：atm | 1 |
除霜时间：分钟 | 5.5 |
低温盘管,连接管路 |
盘管表面面积：m2 | 2.2 |
单管路：
盘管直径：mm
盘管长度：m |
16
43
|
双管路：
盘管直径：mm
盘管长度：m |
16
21.9
|
标准外部连接管长度：m | 2.44 |
配套设施 |
冷却水流量：rate l/min.
13 C˚
26 C˚ 29 C˚ |
13.6
27.3
54.1
|
功率 kW | 19.2 |
工作噪音(Z大)：db | 78 |
占地空间(Z小)：m3 | 34 |
重量：kg | 533 |
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 抽水汽效率：
美国 Brooks 旗下 Polycold 冷冻机(水汽深冷泵)，超过40年的冷冻机研发及制造经验。Polycold 冷冻机辅助抽真空，在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，帮助企业显著提升产能和镀膜质量。Polycold 冷冻机广泛应用于镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 Polycold 冷冻机ZG地区指定总代理，全权负责 Polycold 销售和售后维修服务。上海伯东主营真空品Pai:德国 Pfeiffer 真空设备;美国 Brooks Polycold 冷冻机;美国 KRI 考夫曼离子源;美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本 NS 离子蚀刻机等。
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上海伯东：叶女士 台湾伯东：王女士
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