Ø扩展功能:活塞测量、曲轴测量、形状误差测量、圆柱面的测量
Ø可测Z大长度:450mm(可扩展)
Ø工作台直径:140mm(可扩展)
Ø承 载:20kg
Ø测量方式:半自动
Ø圆光栅系统准确度:±18″
Ø圆光栅分辨率:18″
Ø光栅位移传感器准确度:±0.2чm
Ø光栅位移传感器分辨率:0.05 — 0.125чm
Ø工件气浮立柱直线度:0.5чm/100 mm
Ø传感器气浮立柱直线度:0.5чm/100 mm
Ø水平气浮导轨直线度:0.3чm/100 mm