| |
CUBE3.100 |
CUBE3.200 |
运动范围XYZ（µm） |
100 |
200 |
分辨率XYZ（nm） |
0,1 |
0,2 |
典型的噪声基准XYZ（nm） |
0,01 |
0,02 |
全方位的重复性XYZ（nm） |
0,2 |
0,4 |
线性化（典型的） |
0,02% |
0,02% |
谐振频率X / Y / Z（赫兹） |
200/200/500 |
200/200/500 |
刚度 X/Y/Z (N/µm) |
0,3/0,3/0,6 |
0,3/0,3/0,6 |
Z大负载（kg）-水平使用 |
0,5 |
0,5 |
Z大负载（kg）-垂直使用 |
0,1 |
0,1 |
传感器 |
Silicon HR sensor |
Silicon HR sensor |
尺寸W x L x H (mm) |
63,5 x 63,5 x 52,45 |
63,5 x 63,5 x 52,45 |
材料 |
Al |
Al |
电缆长度（m） |
2 |
2 |
推荐控制器 |
Standard |
Standard |
|
|
