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ssd HUMAF2703——气体流量，相对湿度(图)

产品信息
品Paissd型号ssd
种类温度材料金属
材料物理性质导体材料晶体结构单晶
制作工艺集成输出信号模拟型
二、产品特性： HUMAF2703一体模块是基于MEMS技术，在+/-5 SCCM,+/-3%RH,+/-0.3℃ 内有良好的互换性，气体流量精度不随温度漂移，数字输出接口（I2C）,高分辨率气体流量测量范围：-300—300SLPM；湿度工作范围(RH) : 5---99%RH温度工作范围(Ta) : -30---+85℃；流量精度：+/-(1.6FR +0.8FS)供电电压: 3-3.7Vdc
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