洁净无氧烘箱

双层洁净无氧烘箱是可以适用于半导体晶圆后段晶圆片清洗之后的软烤，硬烤，电镀工艺，双层洁净无氧烘箱采用了SUS304洁净的不锈钢材质，进口的超GXH.E.P.A过滤器，自动开关的风门结构，可以通过内部不断地循环过滤，不断地过滤内部的partical快速形成没有氧气的洁净环境，机台采用了大功率三相静音的低震动马达，不锈钢的涡轮扇叶，独特设计的涡轮结构，结合了双循环风道，形成风量均匀的循环热风，实现了高度洁净，温度均匀的无氧的烘烤环境，确保了烘烤物料受热均匀，没有氧化现象的发生。