P32系列Z向/俯仰/偏转镜
- 品牌：哈尔滨芯明天科技有限公司
- 产地：黑龙江省哈尔滨市南岗区汉广街41号 金华大厦
- 供应商：哈尔滨芯明天科技有限公司
- 供应商报价：面议
- 标签：P32系列Z向/俯仰/偏转镜
产品库
P32系列Z向/俯仰/偏转镜体积小巧、结构紧凑，可实现ZD6mrad偏转，Z轴40μm的直线运动。提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动，直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧 度，响应时间可达毫秒量级。
工作原理
• 图像处理与稳定 • 光学捕获
• 激光扫描与光束偏转 • 激光调谐
• 光过滤/光开关 • 光学/光束稳定
负载频率曲线 推荐控制器
| E01 | E00 | E70 |
| 页码 157 | 页码 157 | 页码 167 |
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| 3路输出（1路恒压） | 3路输出（1路恒压） | 3路输出（1路恒压） |
| 模拟、上位机通信、旋钮 | 模拟、上位机通信、旋钮 | 模拟与数字控制 |
| 开环闭环 | 开环闭环 | 开环闭环 |
| 平均功率7W | 平均功率35W/通道 | 平均功率5W/通道 |
高分辨率、高稳定性及动态性
P32压电偏转镜体积紧凑，内部装配带有预紧的高可靠性压电 促动器，集成在复杂的、FEA建模分析的柔性铰链导向系统。压电 促动器是叠堆共烧型压电陶瓷，比传统的压电促动器提供更好的性 能及可靠性。
P32压电偏转镜采用基于平行运动学的压电陶瓷直驱式三脚架 结构，数十亿次的运动周期操作而没有故障或性能下降，非常适合 工业应用。
三脚架结构设计在较大的温度范围内提供优化的角度稳定 性。这种设计具有体积更小巧、两轴具有相同的大小及动态性能、 更快的响应速度及更好的线性度等优势，也防止了偏振旋转。
特性：
• 闭环定位精度高
• 温度稳定性高
P32系列Z向/俯仰/偏转镜
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P32.ZT4S P32.ZT4K |
单位 |
| 运动自由度 | θx, θy, Z |
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| θx, θy标称偏转角度（0~120V） | 5 | mrad±20% | |
| Z向标称行程（0~120V） | 30 | μm±20% | |
| θx, θyZD偏转角度（-20~150V） | 6 | mrad±20% | |
| Z向ZD行程（-20~150V） | 40 | μm±20% | |
| 传感器类型 | SGS/- |
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| 闭/开环θx, θy偏转分辨率 | 0.1/0.05 | μrad | |
| 闭/开环Z向直线分辨率 | 1/0.5 | nm | |
| 闭环线性度 | 0.05/- | %F.S. | |
| 闭环重复定位精度 | 0.02/- | %F.S. | |
| 空载谐振频率（θx, θy） | 2 | kHz±20% | |
| 闭/开环空载阶跃时间 | 5/2 | ms±20% | |
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闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 500 |
Hz±20% |
| 100%行程 | 40 | ||
| 静电容量 | 3.6/轴 | μF±20% | |
| 材质 | 钢 |
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| 重量 | 350 | g±5% | |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
