SH-6 晶圆测试探针台
- 型号：SH-6
- 产地：广东
- 供应商：深圳市森美协尔科技有限公司
- 供应商报价： 电议
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产品库
型号 | SH-6 | SH-8 | SH-12 | |
外形 | 820mm长*720mm宽*890mm高 | 960mm长*850mm宽*900mm高 | 1300mm长*920mm宽*920mm高 | |
重量 | 170公斤 | 约230公斤 | 约300公斤 | |
电力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
样品台 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋转 | 8英寸，可360度旋转 | 12英寸，可360度旋转 |
行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 | |
移动精度 | 1um | |||
样品固定方式 | 真空吸附 | |||
背电极测试功能 | 有，样品台电学独立悬空 | |||
针座平台 | 规格 | U型平台，多可放置6个针座 | U型平台，多可放置10个针座 | U型平台，多可放置12个针座 |
行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um | |||
光学特性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm | ||
显微镜移动精度 | 1um | |||
切换镜头方式 | 显微镜快速倾仰30度 注1 | |||
放大倍数 | 20~4000X | |||
镜头规格 | 目镜：10X；物镜：5X,10X,20X,50X、100X(选配) | |||
CCD像素 | 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) | |||
点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||
机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||
漏电精度 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱时) | |||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 | |||
应用方向 | 晶圆测试，光电器件测试，PCB/封装器件测试，射频测试，高压/大电流测试等 | |||
可选附件 | 卡盘快速拉出装置 | |||
显微镜倾仰装置(倾仰30度) | ||||
显微镜气动升降装置 | ||||
激光微加工 | ||||
探针卡夹具 | ||||
显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件 | ||||
液晶热点侦测套装 | ||||
高压/大电流测试套装 | ||||
带真空底座的活动Chuck | ||||
加热台 | ||||
高低温样品台 | ||||
屏蔽箱 | ||||
转接头 | ||||
防震台 | ||||
镀金卡盘 | ||||
同轴叁轴卡盘 | ||||
样品台快速升降，微调升降装置选件 | ||||
样品台旋转微调选件 | ||||
光强/波长测试选件 | ||||
射频测试附件 | ||||
有源探头 | ||||
低电流/电容测试 | ||||
兼容积分球测试选件 | ||||
光纤夹具耦合测试选件 | ||||
封装器件夹具 | ||||
PCB/封装夹具测试选件 | ||||
特殊定制 | ||||
注1 | 配置体式显微镜(放大倍数16~100X)时显微镜固定，无需切换镜头 | |||
