PFC系列 压电物镜聚焦平台（大负载型）

■ 产品特性

1.采用高性能的压电陶瓷驱动;
2.具有开环和闭环两种规格型号;
??3.采用数控、线切割等加工工艺，严格保证构结精度;
4.采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构；
5.采用先进的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力。

■ 产品描述

Z向 PFC**-080U（直驱型）是采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台，扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，确保了扫描台JJ的运动精度。扫描台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。分立的螺纹适配器，可适配多种型号的物镜。压电物镜定位器是为了满足快速响应、大负载、大孔径物镜应用需求而设计的，可以与目前市面上多种高分辨率显微镜配合，大刚度设计确保负载力达500g，快速稳定，扫描频率高。

■ 产品选型

①物镜侧螺纹直径（目标适配器【选配】）

②装配环（显微镜适配器【选配】）

※除上述型号外的螺纹尺寸，请！

③内置位移传感器