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台阶仪NanoMap-PS

产品信息

台阶仪     

 

NanoMap-PS是一款专门为nm级薄膜测量研发的无需防震台即可测量的接触式台阶仪

  •    AFM同款位移传感器,超高精度

  •    压电陶瓷驱动扫描,JD无内源振动

  •    自集成主动反馈式防震系统

  •    真正无需额外辅助防震系统,实现高重复性纳米测量

  •   纳米量级科学研究的必备产品

 

 

NanoMap-PS 可以应用在半导体,光伏/太阳能,光电子,化合物半导体,OLED,生物医药,PCB封装等领域的薄膜厚度,台阶高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),划痕深度,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量方面。其高精度,高重复性,自动探索样品表面,自动测量深受广大客户欢迎。
 

测量表面可以覆盖多种材料表面:金属材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等,对于植物表面,生物材料,聚合物表面,光刻胶等“柔软表面”也可测量无须担心划伤或破坏。设备传感器精度高,稳定性好。热噪声是同类产品zui低的。垂直分辨率可达0.1nm 。 可测表面,包括透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料,金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿等;
  

AEP的技术日新月异。 欲了解的产品性能参数,请与我们。
  
主要参数 :  

垂直分辨率             0.1nm

垂直zui大量程         1000um
探针接触力             0.03mg-100mg

平台范围                 直径150毫米(可选200毫米或更大)
高清图像                  4级放大,彩色CCD
成像光源                  双长寿命强光LED

金刚石探针               0.5um 到 25um 可选

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