4200-SCS型半导体特性分析仪

4200-SCS型半导体特性分析系统

容易使用的4200-SCS型半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率。它提供了zui先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式PC机，Windows操作系统与大容量存储器。其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果。其它一些特征使得应力测量功能能够满足各种可靠性测试的需求。

可选仪器：

* 4225-PMU超快I-V模块

* 4220-PGU脉冲发生器单元（仅电压源）

* 4225-RPM远程放大器/开关

* 4200-SMU中等功率源测量单元

* 用于4200-SCS的4210-SMU高功率源测量单元

* 用于4200-SMU和4210-SMU的4200-PA远程前置放大器选件

* 4210-CVU 1kHz - 10MHz电容电压测量单元

* 4200-SCP2双通道示波器卡

* 4200-SCP2HR 200MS双通道示波器卡

超快I-V应用套件：

* 4225-PMU超快I-V模块

主要特点及优点

• * 直观的、点击式Windows操作环境
• * 独特的远端前置放大器，将SMU的分辨率扩展至 0.1fA
• * 用于高级半导体测试的新型脉冲与脉冲式I-V功能
• * 集成了示波与脉冲测量功能的新型示波卡
• * 内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储
• * 独特的浏览器风格的软件界面，根据器件的类型来安排测试，可以执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能
• * 内置了Stress/Measure，循环和数据分析功能，通过鼠标点击方式就可进行可靠性测试，包括5个JEDEC规范的样品测试
• * 支持 Keithley590 型与 Agilent 4284/4294型C-V仪、Keithley开关矩阵与Agilent 81110脉冲发生器等多种外围设备
• * 硬件由 Keithley交互式测试环境（KITE）来控制，用户测试模块功能，可用于外接仪表控制与测试平台集成，是KITE功能的扩充
• * 包括驱动软件，支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300，Micromanipulator 的8860自动和手动探针台
• * 支持先进的半导体模型参数提取，包括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso

• 半导体器件：
• 片上参数测试
• 晶圆级可靠性
• 封装器件的特性分析
• 使用Model4200-SCS控制外部LCR表进行C-V、I-V特性分析
• 高K栅电荷俘获
• 易受自加热效应影响的器件和材料的等温测试
• 电荷泵方法分析MOSFET器件的界面态密度
• 电阻式或电容式MEMS驱动特性分析
• 光电器件：
• 半导体激光二极管DC/CW特性分析
• 收发模块DC/CW特性分析
• PIN和APD特性分析
• 科技开发：
• 碳纳米管特性分析
• 材料研究
• 电化学

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