SHCV-Auto SHCV大功率半自动探针台
- 型号：SHCV-Auto
- 产地：广东
- 供应商：深圳市森美协尔科技有限公司
- 供应商报价： 10000.00￥
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产品库
大功率半自动探针台 | ||||
型号 | SHCV-6-Auto | SHCV-8-Auto | SHCV-12-Auto | |
外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1300mm*920mm*920mm | |
重量 | 180KG | 250KG | 380KG | |
电力需求 | AC220V,50~60HZ | |||
Chuck | 尺寸 | 6inch | 8inch | 12inch |
X-Y轴行程 | 6*6inch | 8*8inch | 12*12inch | |
X-Y轴移动解析度 | 0.04um/0.1um | |||
X-Y轴重复定位精度 | ±1um | |||
移动速度 | ≥ 50 mm/sec | |||
Z轴行程 | 10mm | |||
Z轴移动解析度 | 0.1um | |||
Z轴重复定位精度 | ±1um | |||
Theta角度行程 | ±15° | |||
Theta角度解析度 | 0.0003° | |||
光栅尺 | 带光栅尺 | |||
样品固定方式 | 多孔真空吸附，独立分区控制 | |||
切换样品功能 | 样品台快速拉出 | |||
结构 | 同轴高压设计，镀金，电学独立悬空，可作为背电极使用 | |||
针座平台 | 规格 | O型平台，多可放置8个针座 | O型平台，多可放置10个针座 | O型平台，多可放置12个针座 |
行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um | |||
控制方式 | 手动控制盒（可选择带操纵杆） | |||
软件控制 | ||||
软件功能 | wafer map的编辑 | |||
仪器的接入 | ||||
数据的采集和图像化显示 | ||||
数据的分析 | ||||
差异数据的标定Ink mark | ||||
自定义Bin分 | ||||
自动测试 | ||||
通讯接口：RS232/EtherCAT/GPIB等 | ||||
大功率规格 | 配置 | 大功率kelvin样品台 | ||
大功率夹具线缆 | ||||
mult-pin 分流探针 | ||||
大功率保护模块（针座用） | ||||
保护红外光幕，防止人员误进入工作区，触发时interlock互锁 | ||||
大功率仪器连接模块 | ||||
Z大测试电压 | 10KV | |||
Z大测试电流 | 500A（脉冲） | |||
光学特性 | 显微镜行程 | 2*2inch | ||
显微镜行程 | 1um | |||
放大倍数 | 20-4000X | |||
CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | |||
点针规格 | 点针精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | ||
X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
漏电精度 | 10pA/100fA | |||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA，SHV接口 | |||
温控特性 | 温度范围 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ |
温控精度 | 温度分辨率 ： 0.01°C | |||
加热电源 | LVDC 低压直流 | |||
Z低控温速率 | ±0.1°C /小时 | |||
传感器 | Pt100 | |||
制冷方式 | 液氮制冷 | |||
减震 | 主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动 | |||
可选附件 | chuck快速拉出装置 | |||
显微镜倾仰装置 | ||||
激光修复 | ||||
探针卡夹具 | ||||
光强/波长测试接口部件 | ||||
加热台 | ||||
高低温样品台（-80~200℃） | ||||
防震桌 | ||||
射频测试 | ||||
PCB板夹具 | ||||
液晶热点侦测套装 | ||||
屏蔽箱 | ||||
卡盘镀金 | ||||
运用方向 | 晶圆测试，功率器件测试 | |||
特点： | ||||
SiC/GaN晶圆测试 | 超高的测试精度 | |||
大功率晶圆测试 | 便捷的仪器接入 | |||
（-60~200℃）高低温Chuck | 半自动测试 | |||
20~4000X光学显微放大 | 可升级全自动测试 | |||
功能丰富的测试软件 | 可升级射频测试 | |||
