VOD-210 400℃晶圆片真空烘箱，快速升降温高温真空充氮烘箱

400℃晶圆片真空烘箱，快速升降温高温真空充氮烘箱

VOD-210

产品特点：

1. 迅速脱氧：该箱内胆采用不锈钢制造，箱壁接缝全部采用氩弧焊焊接，密封性能JJ，能快速脱氧；
2. GX率：稳定和快速的升温性能，有助于提高产品质量和效率；
3. 保温节能：箱体与工作室之间填充高密度纤维棉作保温材料，有效保湿节能；
4. 密封性好：箱门与工作室外框设有耐高温无尘密封条和压紧装置，有效地保证了箱体的密封性能；
5. 置物架：工作室内设计可抽取的载物网板；
6. 美观简洁：设备外形美观，操作简便，控温灵敏准确；

主要技术参数：

1：电源：AC380V 3φ 50HZ 18KW

2：工作尺寸：W560×D640×H600

   外形尺寸：W910×D990×H1865

3：温度范围：RT+10℃～450℃

4：升温速率：2 ℃/minute～4 ℃/minute

5：降温速率：2 ℃/minute～4 ℃/minute(400℃降至100℃,客户需配冷却塔)

6：外壁材料： 冷扎碳钢板，经防锈处理后静电喷塑，耐划伤;   

7：内胆材料： 5mm厚，SUS304不锈钢，不锈钢内外表面抛光; 

8：保温材料：厚度150毫米硅酸保温棉，保温性能良好;

9：门:真空密封紧迫;门缝自带高温保护.(高温状态下使用,为耗品,建议2-3个月更换一次)

10：真空泵: LEYBOLD真空泵.(客户可自行购真空泵,或者制定真空泵型号);

11：真空度: ≤10 pa；

12：加热元件：四面辐射加热;  

13：电器系统：系统采用PLC控制,加热启停、冷却启停、真空泵启停、充氮气启停；   

14：温控输出：SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器

15：安全保护：加热电流过流、系统短路保护、电压过压保护、真空泵过负载、缺相保护、电炉超温报警等功能。

400℃晶圆片真空烘箱，快速升降温高温真空充氮烘箱