| 流体Fluid | 相当于超纯水/纯水Ultrapure water/Pure water requivalent |
| 测定流量范围Measuring flow ranges | 0～300mL/min,5～300mL/min |
| 测量流体精度Meaduring flow accuracy | FS±1%（纯水瞬间流量）FS±1%（at instanteneious flowrate of pure water） |
| zui高工作压力Max operating pressure | 0.4MPa（G） （耐压0.5MPa（G）） |
| 流体工作温度Operating fluid temperature | zui高50℃Max |
工作环境温度
Ambient operating temperature | 0～50℃ （应不结露） 0～50℃（No dewing） |
电装部分
Electrical Part | 检测方式Input signals | 传播时差方式 Propagation time difference method |
| 输入信号Input Signals | 累计值复位输入、0点复位输入（采用跳线管脚到及RS-485复位）
Integrating value reaetting input and reset input at zero point
（Reset by jumper pin and RS-485） |
| 输出信号Output signals | 测量输出
·DC4～20mA输出
瞬间流量 分辨率约1/3000
累计流量至上限设定（20mA）5000ml可任意设定
（zui大载荷阻抗800Ω）
·频率/累计脉冲输出（开路集电极输出）…从频率/累计脉冲出选择
频率…可在FS流量时的FS频率设定（可设定100～300Hz）
累计脉冲…可设定每1脉冲的设定流量（1～200mL）
·异常输出（开路集电极输出）…在不可测量时输出
*开路集电极额定输出：同步电流zui大100A、外加电压zui大+35V
（vol=1.3V）
Measuring output:4-20mADC
Instantaneous flowrate:Limit of resolution:Approx 1/3000
Integrating flowrate:Possible arbitraily to set up to 500mL/min in upper
limit setting （Max load resistance:800）
Pulse output（Open collector）...Selectable from frequency/integrating pulse
Flowrate setting at FS...Settable arbitrarily up to 300mL/min at
frequency of FS
Integrating pulse...Setting flowrate per one pulse settable（1-200mL）
Abnormal output（Open collector output）...Output at time when disenabling
to measure
*Open collector output rating:Sink current;
Max 100A impressed voltage:Max +35V（vol=1.3V） |
通信功能
Communicating function | RS-485 |
| 电源电压Power source voltage | DC 24V |
| 消耗电流Power consumption | 100mA |
检测部
Detecting
Part | 质Material of wetted part | PFA |
| 电缆长度Cable length | 2m（同轴电缆、聚四氟乙烯包覆） 2m（coaxial cable shielded with Teflon） |
| 配管口径Pipe size | TV1/4,TV3/8 |
