美国iNEQ-global---美国Aalborg全系列产品

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美国iNEQ-global---美国Aalborg全系列产品

美国Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上著名的气体质量流量计/控制器的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。
       产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器
       典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
       设计特点：
    －刚性金属结构
    －流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
    －zui大压力500psig（34.5Bar）
    －泄漏率1＊10-7氦气
    －NIST系统标定可追踪的证明
    －可倾斜的LCD读表
    －0-5Vdc或4-20mA信号输出
    －电路保护
    －可用作便携式的设备
    －0到100％比例显示
    －可配备流量计算机
   
    精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（标定精度），在给定的温度与压力值条件下。
    重复性：±0.5％满量程
    回应时间：实际流速±2％超过满量程25-100％一般2秒
    温度系数：0.15％满量程／℃
    压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar）
    气体／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃）
    输出信号：0-5Vdc，zui小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻
    传感器输出：＋12Vdc；zui大200Ω。＋24Vdc可选
    时间恒量：800ms
     气体压力：zui大1000psig（70bar）。可选20psig（1.4bar）
    流体接触面材质：A：GFC铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环
    B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不锈钢系列：316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。
    方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置
    连接：GFC17和37：1／4¨卡套螺纹VCR®或1／8¨卡套可选（GFC17）
    GFC47：3／8¨卡套螺纹
    GFC57：3／8¨卡套螺纹
    GFC67：1／2¨卡套螺纹
    GFC77：3／4¨卡套螺纹
    VCR®或3／4¨卡套可选（GFC77）

（20111231LX）

优势品Pai：

iNEQ-spec（盈爱），HEIDENHAIN（海德汉）, SIEMENS（西门子）6DD/6ES/6SN/6FC等模块，MOOG（穆格）伺服阀, MAHLE(马勒)过滤器, HAWE(哈威)德原产系列, Barksdale(巴士德)液位计, DOPAG阀门, DURAG(杜拉格), Hegwein(海格文), ROEMHELD, BEKO, BENDER, TIVAL, AC-Motoren, Captron, EM-TECHNIK, Captron, VEM, GEORGIN, ISMET, BURSTER, ENFM, LAFERT, ZIEHL, Hemomatic, messMa, KOSTYRKA, EDMOLIFT, KNIEL, DETAS, LE, UNICONTROL, ALRE, Faulhaber, TR electronic, G.bee, GERWAH, SUCO, NETTER, Lorenz，FANAL........................................................................

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