PE-100 实验室等离子表面处理机

PE-100实验室等离子表面处理机

     等离子表面处理机是一种非破坏性的表面处理设备，它是利用能量转换技术，在一定真空负压的状态下，以电能将气体转化为活性极高的气体等离子体，气体等离子体能轻柔冲刷固体样品表面，引起分子结构的改变，从而达到对样品表面有机污染物进行超清洗，在极短时间内有机污染物就被外接真空泵彻底抽走，其清洗能力可以达到分子级。在一定条件下还能使样品表面特性发生改变。因采用气体作为清洗处理的介质，所以能有效避免样品的再次污染。等离子清洗器既能加强样品的粘附性、相容性和浸润性，也能对样品进行消毒和杀菌。等离子清洗器现已广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、高分子、生物医学、微观流体学等领域。小型等离子清洗机以体积小、成本低、操作简便等特点广泛应用于科研及小批量生产场合。

PE-100参数:

标准系统特点

电极: 229mm*330mm，均可配三层电极，间距76mm

等离子发生器功率:300W,100 KHz （连续可调）

质量流量控制器: O-50cc （连续可调）

Pirini真空计：0-1Torr

控制器：基于WINDOWS操作系统的控制系统

真空泵：8CFM氧气

耐用铝合金真空腔体

可选配置

等离子发生器功率和频率:300W ，13.56 MHz

过程温度控制

自定义电极配置

RIE（反应离子电极）配置

静电屏蔽

系统规格

等离子控制台：432mm* 711mm*762mm       重量：73Kg

真空泵：152mm*457mm*229mm        重量：31Kg