供应郑州松下光电传感器-晶圆定位传感器 M-DW1

以往使用激光的激光式定位传感器，激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，十分危险。
M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。

M-DW1以反射光的位置来检测，不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。

利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通过反射光位置而非反射光量进行检测。因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。

传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。

尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm，质量约为75g的小巧、轻盈型。