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M3500V M3500V 气体质量流量控制器 /Mass Flow Controller

产品信息

 

韩国原装进口高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。
应用：
LINE TECH气体质量流量流量计和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、YL设备、气相色谱仪等相关行业。
优势：
l        测量质量流量
l        不需要温度、压力补偿
l        紧凑的流量控制系统
l        高精度（±1%F.S）
l        耐高压（15公斤）
l        快速响应时间（＜1秒）
l        高重复性（±0.25%F.S）
l        量程范围:300-1000 SLPM
 
规格：
 
型号 M3500V
流量范围（N2） 300~1000 slpm
响应时间 ＜2秒
精确度 ±1%
重复精度 ±0.25%
输入输出信号 0~5Vdc 
供电 +15Vdc or +24Vdc,350mA
zui大工作压力 60~240 psia
zui大工作温度 0~50℃
漏率 1×10-9atm.cc/sec
控制范围 2~100%
尺寸：

信息声明：本产品供应信息由仪器网为您整合，供应商为（上海昕潼贸易有限公司），内容包括 （M3500V M3500V 气体质量流量控制器 /Mass Flow Controller）的品牌、型号、技术参数、详细介绍等；如果您想了解更多关于 （M3500V M3500V 气体质量流量控制器 /Mass Flow Controller）的信息，请直接联系供应商，给供应商留言！
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