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EXT556H EDWARDS复合涡轮分子泵

产品信息

EXT556H EDWARDS复合涡轮分子泵 

性能特点

高临界前级压力。

高体积流速。

 * 抽速快。

多级Holweck分子拖曳结构,对轻气体产生高压缩比。

极限真空 <10E-10 mbar 。

复合轴承。

免维护。

EXT556H EDWARDS复合涡轮分子泵 

技术数据

 

主入口法兰                                      DN160ISO-K

出口法兰

DN25NW

放气口

1/8 inch BSP

吹扫净化口

1/8 inch BSP

入口泵速*

 

 

N2

540 l/s

 

He

580 l/s

压缩比

 

 

N2

>10E10

 

He

10E8

前级泵(推荐)

RV12

zui高入口压力( N2, He)**

 

 

水冷(水温15°C)

2 x 10E-3 mbar

 

空冷(大气温度30°C)

1 x 10E-3 mbar

 

空冷(大气温度35°C)

5 x 10E-4 mbar

额定转速

50000 rpm

转速达到90%所需时间 **

 

 

EXC250

5 min

 

EXC300

6.5 min

 

EXDC160

8 min

冷却方式

空冷/水冷

大气温度(空冷)

0-35 °C

推荐冷却水流速(水温15 °C)

15 l/h

水温范围

10-20 °C

入口法兰zui高温度

100 °C

工作姿态

垂直

噪音(1m处)

<60 dB(A)

zui大磁场

 

 

轴向

<7 mT

 

径向

<3 mT

静止功耗

35 W

    * 没安装入口筛网。安装筛网时,泵速下降约20%。
    ** 前级压力<0.3 mbar,大于此转速下降。

EXT556H EDWARDS复合涡轮分子泵 

安装尺寸

 

 

A 入口ISO100

 B 入口ISO160

 C 放气口

D 接地

 E 吹扫净化口

 F 前级泵口

 G 电连接

 H 底部安装孔(8个)/橡胶脚(4个)

 

EXT556H涡轮分子泵特性曲线

 

 

订货信息

 

描述

货号

EXT556H 复合涡轮分子泵 DN160ISO-K

B777-51-000

EXT556H 复合涡轮分子泵 DN160CF

B777-52-000

EXT556H 复合涡轮分子泵 DN160ISO-K (马氏体外壳)

B777-57-000

EXT556H 复合涡轮分子泵 DN160CF (马氏体外壳)

B777-58-000

EXT556H 复合涡轮分子泵 DN160ISO-K (精美入口筛网)

B777-61-000

EXC250E

D396-35-000

EXC250L

D396-36-000

EXC300

D396-14-000

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