ZHDLS-200-150 大型大理石气浮隔振光学平台_详细资料

产品信息

技术指标：

■平面度：00级

■固有频率：1.0Hz～1.5Hz

■减振效率：x方向＜5Hz时：86%～92% y方向＜5Hz时：84%～90%

x方向＜10Hz时：90%～96% y方向＜10Hz时：88%～93%

■振幅：< 1.0μm

■重复定位精度：±0.05mm

产品型号	规格（mm）	支撑
ZHDLS-60-60	600600800	4
ZHDLS-75-75	750750800	4
ZHDLS-90-60	900600800	4
ZHDLS-100-80	1000800800	4
ZHDLS-120-800	1200800800	4
ZHDLS-150-100	15001000800	4
ZHDLS-160-100	16001000800	4
ZHDLS-180-120	18001200800	4
ZHDLS-200-100	20001000800	4
ZHDLS-200-120	20001200800	4
ZHDLS-200-150	20001500800	4
ZHDLS-240-120	24001200800	4
ZHDLS-240-150	24001500800	4
ZHDLS-300-100	30001000800	6
ZHDLS-300-120	30001200800	6
ZHDLS-300-150	30001500800	6
ZHDLS-350-120	35001200800	6
ZHDLS-400-150	40001500800	6
ZHDLS-450-150	45001500800	6
ZHDLS-500-150	50001500800	6

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