高低温分析晶圆测试探针台
- 产地：广东 深圳市
- 供应商：莱森光学（深圳）有限公司
- 供应商报价： 电议
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产品库
产品特性
| 型号 | LS-WPS150-TEC | LS-WPS200-TEC | LS-WPS300-TEC | |||||||||||||
| 外形 | 860mm长* | 850mm宽* | 700mm高 | 880mm长* | 860mm宽* | 750mm高 | 1400mm长* | 920mm宽* | 920mm高 | |||||||
| 重量 | 约150公斤 | 约170公斤 | 约250公斤 | |||||||||||||
| 电力需求 | 220VC, 50~60Hz | |||||||||||||||
| 样品台 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋转 | 8英寸，可360度旋转 | 12英寸，可360度旋转 | ||||||||||||
| 行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12*12英寸 | |||||||||||||
| 移动精度 | 1um | |||||||||||||||
| 切换样品功能 | 样品台快速拉出 | |||||||||||||||
| 样品固定方式 | 真空吸附 | |||||||||||||||
| 电学运用 | 电学独立悬空，可作为背电极使用 | |||||||||||||||
| 针座平台 | 规格 | O型平台，Z多可以放置8个针座 | O型平台，Z多可以放置10个针座 | O型平台，Z多可以放置12个针座 | ||||||||||||
| 行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程6mm，并带自动锁定功能；可以上下微调，行程25mm，升降精度1um | |||||||||||||||
| 温控特性 | 温度范围 | -100~200℃ | -80~200℃ | -60~200℃ | ||||||||||||
| 温控精度 | 温度分辨率：0.01℃ | |||||||||||||||
| 加热电源 | LVDC低压直流 | |||||||||||||||
| 控温速率 | ±0.1℃/小时 | |||||||||||||||
| 制冷方式 | 液氮制冷 | |||||||||||||||
| 光学特性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm | ||||||||||||||
| 切换镜头方式 | 显微镜气动升降 | |||||||||||||||
| 放大倍数 | 16~100X/20~4000X | |||||||||||||||
| 镜头规格 | 目镜：10X; 物镜：5X, 10X, 20X, 50X, 100X （选配） | |||||||||||||||
| CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | |||||||||||||||
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||||||||||||||
| 机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||||||||||||||
| 漏电精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱时） | |||||||||||||||
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口 | |||||||||||||||
| 应用方向 | 高低温环境下，LD/LED/PD测试，PCB/封装器测试，射频测试等 | |||||||||||||||
