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GM-400E型 大平台硅片检测显微镜

产品信息
  • 一、用途:

        GM-400E大平台硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头.是检测太阳能电池硅片的金字塔的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.

    硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.

    二、技术参数

    1.目镜

     

    放大倍数

    视场(mm)

    大视野目镜

    10X

    φ18

       2.物镜

    类 型

    放大倍数

    数值孔径NA

    工作距离(mm 

    平场消色差物镜

    5X

    0.12

    18.3

    10X

    0.25

    8.9

    20X

    0.40

    8.7

    40X

    0.60

    3.7

    80X

    0.80

    0.96

    3.光学放大倍数:50X -- 800X     系统参考放大倍数:50X-5000X
    4
    .滤色片组:黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
    5
    .偏光装置:可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
    6
    .载物台:(配有快速移动装置)
       
    尺寸:250*230mm   移动范围:153*153mm[标配]
       
    尺寸:274*274mm   移动范围:203*203mm[选配]
    7
    .粗微同轴调焦机构,微动手轮格值:0.002mm
    8
    .落射照明器:6V/20W卤素灯,亮度可调
    9
    .防霉:特有的防霉系统

    10.成像系统:500万高像素的数字摄像头

    三、系统组成

    大平台硅片检测显微镜(GM-400E): 1.显微镜 2.适配镜 3500万高像素摄像头

                                   4、计算机(选配)

    四、总放大参考倍数

       电脑型硅片检测显微镜(GM-400E)50--40000倍(17寸显示器为例)

    五、选购件  

      1.测量软件  2.目镜: 20X 10X(带刻度) 

     

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