产品介绍:
蒸发器是动态发生浓度可控气源的装置,是YL、半导体、传感器、高端测试等装备的关键部件。传统的鼓泡式蒸发器存在浓度波动较大、难以连续精确调控、可发生的气体流量较小等缺点。采用这种形式的发生器制约了工艺质量和生产效率的进一步提高。
苏州阿洛斯环境发生器有限公司自主开发的电子式可控蒸发技术,可以提供成分浓度稳定(波动小于1%)且可以连续调控的所需气体,用途十分广泛:它可以帮助医生更好地调控麻醉深度;为CVD半导体制造设备提供可靠的反应气体,获得更好的沉积质量;用于对传感器和传感网络的性能标定与在线校正;作为VOCs标准污染源对材料进行净化性能测试;为燃料电池系统提供精密湿度调节系统;对新材料如多孔材料和特种钢等用于产生交变湿热环境,进行材料耐久应用性能的评估等等.
应用领域:
Ø YL:电子麻醉发生器,杀菌消毒器械
Ø半导体:MOCVD化学气相沉积
Ø传感器:性能标定,在线校准
Ø环保:VOCs稳定标准污染源
Ø新材料:材料耐久性评估,纳米粉体材料合成,医药中间体合成
Ø新能源:燃料电池湿度调节、锂电池硅负极制备
资料下载:
电子式可控蒸发器ver.01.pdf
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