等离子清洗设备之低温等离子体的特性

等离子清洗设备中低温等离子体的电离率较低，电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可与室温相当，所以低温等离子体是非热平衡等离子体。等离子清洗设备的低温等离子体中存在着大量的、种类繁多的活性粒子，比通常的化学反应所产生的活性粒子种类更多、活性更强，更易于和所接触的材料表面发生反应，因此等离子清洗设备被用来对材料表面进行改性处理。与传统的方法相比，等离子清洗设备表面处理具有成本低、无废弃物、无污染等显著的优点，等离子清洗设备同时可以得到传统的化学方法难以达到的处理效果。二十世纪七八十年代起，等离子清洗设备在对金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等诸多领域的应用研究开始蓬勃发展，形成向多学科交叉的研究方向。
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