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广州TKCA-4型全自动氩气纯化器

产品信息
  • 高纯氩广泛应用于电子、冶金、机械、高纯材料和仪器分析等产业部门和科学研究中。为直读光谱仪、等离子光谱仪、辉光光谱仪、定氢仪和单晶硅、光电材料生产等提供稳定的高纯氩气。

     

     

    主要技术指标

           1、输入原气

                本纯化装置允许原料氩气中的氧含量≤3000ppm、N2≤200ppm、水≤1000ppm(即露点低于-2 0 ℃),一般瓶装纯氩均能满足这些要求。

           2、输出纯气

              纯气的输出能力为4m³/h

              纯气中杂质含量:O2≤0.2ppm     N2≤0.2ppm

                              H2O≤1ppm       即露点≤-76 ℃

                              C的氧化物≤0.1ppm  S、P的氧化物≤0.1ppm

                              尘埃粒子数(≥0.3µm)3-5个/升,即100级

            3、工作条件

               工作压力≤1.0MPa

               催化塔工作温度      260℃      吸附塔工作温度   室温

               合金吸附塔工作温度  300℃      吸附塔再生温度   400℃

               再生用气量  500ml/min

            4、电源

               电压 220V    催化塔  0.6kw    吸附塔工作时  0kw

               合金吸附塔工作时0.6kw         再生时        1kw

            5、外形和重量

               450mm×635mm×1210mm           130kg 

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