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美国Instec HCC系列高低温晶圆夹盘

产品信息
  • 规格: HCC206R 200℃加热,150mm圆形台面,同轴接口 产品价格: ¥998.0
    规格: HCC308RT 300℃加热,300mm圆形台面,三轴接口 产品价格: ¥998.0
    规格: HCC30CR 300℃加热,300mm圆形台面,同轴接口 产品价格: ¥998.0
    规格: HCC214S 200℃加热,100mm方形台面,同轴接口 产品价格: ¥998.0
    规格: HCC318S 300℃加热,200mm方形台面,同轴接口 产品价格: ¥998.0
    规格: HCC602 -190~600℃,加热制冷 产品价格: ¥998.0
    规格: TC104S -25~90℃,半导体帕尔贴温控 产品价格: ¥998.0
    规格: 外壳制冷 防止热台外壳过热 产品价格: ¥998.0
    规格: WinTemp控制软件 赠送 产品价格: ¥998.0
    规格: mK2000 温度控制器,必选 产品价格: ¥998.0
    规格: 线性直流电源 减小电噪声,精确测量 产品价格: ¥998.0
    规格: 显微镜相机 温控联动控制 产品价格: ¥998.0


    功能特点

    可编程精密控温
    超低的盘面温度梯度
    独立的上盘面真空气槽,用于固定多种尺寸晶圆
    尺寸超薄,可集成进探针台
    支持顶杆孔
    适用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圆
    #可选# 台面接地/电悬空
    #可选# 下盘面真空吸气槽
    #可选# 三轴接口,用于防漏电
    可做改动或定制,详询上海恒商


    技术参数

    温度分辨率    0.001℃(at 100℃)
    温度稳定性    ±0.05℃(at 100℃) 可提升稳定性
    温度均匀度    ±0.1℃/cm 可升级均匀性
    Z小控温速度    ±0.1℃/小时
    传感器/控制算法    100Ω铂质RTD
    PID控制 可选线性直流电源
    表面光滑度    10 µm(常温下)



     

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